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多年にわたり結晶成長技術の研究を推進し、化合物半導体(GaP, GaAs,
InP)、誘電体、酸化物など多岐にわたる結晶成長技術を確立し、各企業での実用化に貢献。 昭和55年にタンタル酸リチウム単結晶を用いた弾性表面波フィルタの結晶の量産化に成功した。昭和56年からは通産省主導の国家プロジェクトにおける光技術共同研究で、国内電気メーカー連合チームのリーダーとして高純度大型GaAs単結晶成長技術を開発し、多くの企業での実用化に貢献した。これらの結晶は今日の移動体通信環境を支える高周波素子の基板結晶として重要な役割を果たしている。 近年では、チョクラルスキー法でリソグラフィー用大型12”φCaF2単結晶育成、圧電用ランガサイト系結晶、シンチレータ用LuAG結晶等数々の結晶の開発と実用化に成功している。また、水熱合成法でのZnO結晶、超臨界アモノサーマル法でのGaN結晶の成長技術開発にも成功した。独創的なマイクロ引下げ法によるファイバー単結晶作製等にも成功し、これらの幅広い結晶成長技術開発により多くの企業での実用化を進展させている。 |

